《科創(chuàng)板日報》3月18日訊（記者 黃修眉） 大基金二期再出手！

工商信息顯示，大基金二期近期投資了昂坤視覺（北京）科技有限公司（下稱“昂坤視覺”）。該公司的注冊資本從1140.315700萬元變更為1163.122000萬元。

昂坤視覺是大基金二期今年以來第三次“出手”的公司。另外兩家則分別為江蘇神州半導體科技有限公司、加特蘭微電子科技（上海）有限公司。

業(yè)內人士表示，“半導體屬于一個需要專、精、深的領域，對于創(chuàng)業(yè)公司來說，需要從某一個點切入，再實現(xiàn)面的突破。大基金二期投資昂坤視覺，也符合這一規(guī)律，從點到面實現(xiàn)國產化的突破?！?/p>

系光學檢測設備供應商

昂坤視覺官網顯示，該公司成立于2017年，主要為化合物半導體光電和集成電路產業(yè)提供光學測量和光學檢測設備及解決方案。

其產品涵蓋了化合物半導體生產工藝測量和檢測各個環(huán)節(jié)，包括各類襯底厚度和形貌測量、各類襯底的表顆粒檢測設備、藍寶石PSSAOI檢測及反射率測量集成設備、各類外延片AOI檢測設備、芯片外觀AOI設備、外延化學氣相沉積設備（MOCVD）在線監(jiān)測系統(tǒng)等。

經過多年的研發(fā)和技術積累，昂坤視覺具備光學系統(tǒng)設計、機器視覺及AI深度學習算法等研發(fā)能力，獲得了國家級專精特新“小巨人”、北京市企業(yè)技術中心、ISO9001質量管理體系認證等資質。

公開資料顯示，作為國內少數(shù)掌握高精度晶圓檢測技術的企業(yè)，昂坤視覺的光學測量設備可應用于SiC襯底缺陷檢測、GaN外延片均勻性分析等關鍵環(huán)節(jié)，其自主研發(fā)的AI算法將檢測效率提升30%以上。

從工商信息變更來看，昂坤視覺今年以來業(yè)務布局動作頻頻。

其中，今年1月9日，昂坤視覺獲得北京市昌平區(qū)經濟和信息化局有關廠房方面的許可，建設5條12寸晶圓量測設備生產線，增加干涉儀、偏心儀等共18臺先進的量測設備等。

上述項目建成后年產能65臺，其中平整度、面型和翹曲量測設備50臺，非圖形晶圓表面缺陷檢測設備15臺。

而后，今年2月4日，昂坤視覺再獲相關許可，建設2條應用于無圖形晶圓缺陷光學檢測的照明系統(tǒng)研發(fā)生產線，增加干涉儀、偏心儀等共18臺先進的開發(fā)驗證設備等，項目建成后年產能30臺。

昂坤視覺今年內進行的招投標項目亦不少，包括有無圖形的晶圓平坦度翹曲IPD量測及表面缺陷檢測光學系統(tǒng)研發(fā)及產業(yè)化項目、先進工藝缺陷檢測光學系統(tǒng)研發(fā)及產業(yè)化項目等。

多家產業(yè)鏈上市公司參投

股權結構方面，昂坤視覺法人代表、實控人、CEO均為清華系技術領軍人物馬鐵中博士，馬鐵中也是EDA企業(yè)廣立微的創(chuàng)始人。

SEMICON China官網顯示，馬鐵中本科畢業(yè)于清華大學，在美國明尼蘇達大學獲得博士學位。馬鐵中2007年回國后，在杭州創(chuàng)立廣立微。2017年，馬鐵中二次創(chuàng)業(yè)成立昂坤視覺。

（圖：馬鐵中；圖源：SEMI中國公眾號）

此前，2021年12月，昂坤視覺C輪融資領投方錢塘產業(yè)集團旗下和達金服集團公眾號曾發(fā)文提及，昂坤視覺核心技術團隊自2013年起著手研發(fā)MOCVD配套溫控設備，已占據(jù)國內MOCVD溫控設備領域90%市場份額。

值得一提的是，其MOVCD溫控設備產品是中微公司MOCVD設備整機的核心子系統(tǒng)之一。

與此同時，昂坤視覺LED AOI設備已占據(jù)國內增量市場，化合物半導體、集成電路AOI設備已進入三安集成、士蘭微等下游龍頭企業(yè)。

《科創(chuàng)板日報》記者注意到，在大基金二期投資前，昂坤視覺已有包括中微公司、匯川技術、晶盛機電等知名產業(yè)方參股。

其中，中微公司于2020年參投昂坤視覺A輪融資；匯川技術旗下匯川產投于2021年2月至2023年1月間參與了昂坤視覺B輪至D輪總共三輪融資；晶盛機電則參與其D輪融資。

此外，昂坤視覺的投資方還包括：招商致遠、海望資本、馮源資本、清石資管、厚雪資本等；銅陵有色、昌平中小企業(yè)成長投資基金、安徽交控招商、金浦投資、寶鼎投資、錢塘產業(yè)集團等參投方均為國有控股。

（圖：昂坤視覺前十大股東）

“推動國產設備形成生態(tài)閉環(huán)”

“大基金二期投資昂坤視覺，標志著其在化合物半導體量檢測設備領域的重要落子，其也將進一步整合上下游資源，推動國產設備形成生態(tài)閉環(huán)?！眲?chuàng)道硬科技創(chuàng)始人步日欣在接受《科創(chuàng)板日報》記者采訪時表示。

步日欣表示，“半導體量檢測設備領域的國產化，總體來看屬于創(chuàng)業(yè)公司‘遍地開花’，但高端設備領域實現(xiàn)重大業(yè)務突破的企業(yè)寥寥無幾。目前，量檢測設備領域的整體國產化率約5%，遠低于半導體設備整體的國產化率?！?/strong>

“量檢測設備種類繁多，國內廠商像中科飛測、精測電子、睿勵儀器等頭部企業(yè)，在膜厚測量、關鍵尺寸測量、形貌測量等領域實現(xiàn)了高工藝制程的量產突破，但大部分擅長于其中部分設備，并沒有實現(xiàn)全線設備的突破?！辈饺招婪Q。

步日欣進一步表示，從全球格局來看，國際巨頭LKA產品線貫穿半導體前道工藝過程控制全流程，目前全球量檢測設備領域各細分環(huán)節(jié)市場仍被LKA壟斷。

2020年，LKA在晶圓形貌測量、無圖案檢測、有圖案檢測、光罩/掩膜版檢測、套刻誤差測量等細分環(huán)節(jié)的全球市占率均超過50%。其中，晶圓形貌測量的全球市占率高達85%。

華芯資本相關人士亦表示，半導體量檢測設備是半導體制造環(huán)節(jié)的“守門員”。在AI技術驅動下，光學檢測設備需向智能化升級?！鞍豪ひ曈X通過AI算法優(yōu)化檢測流程，這種技術融合能力正是大基金看重的未來增長點?！?/p>

觀研天下發(fā)布的《中國半導體檢測行業(yè)現(xiàn)狀深度研究與發(fā)展前景分析報告（2024-2031年）》數(shù)據(jù)顯示，得益于半導體快速發(fā)展及國產化趨勢帶來的發(fā)展機遇，近年我國半導體量檢測市場不斷發(fā)展。

以半導體檢測設備為例，2016年我國半導體檢測設備市場規(guī)模約為76.1億元，到2022年這一規(guī)模增長到了385.6億元。預計在2023-2027年，我國半導體檢測設備市場將以15.4%的整體年復合增長率發(fā)展，于2027年達673.2億元的市場規(guī)模。