財聯(lián)社1月17日電，中核集團1月17日透露，由中核集團中國原子能科學研究院自主研制的我國首臺串列型高能氫離子注入機（POWER-750H）近日成功出束，核心指標達到國際先進水平。這標志著我國已全面掌握串列型高能氫離子注入機的全鏈路研發(fā)技術，攻克了功率半導體制造鏈關鍵環(huán)節(jié)，為推動高端制造裝備自主可控、保障產業(yè)鏈安全奠定堅實基礎。離子注入機與光刻機、刻蝕機、薄膜沉積設備并稱為芯片制造“四大核心裝備”，是半導體制造不可或缺的“剛需”設備。此次高能氫離子注入機的成功研制，是核技術與半導體產業(yè)深度融合的重要成果，將有力提升我國在功率半導體等關鍵領域的自主保障能力，更為助力“雙碳”目標實現(xiàn)、加快形成新質生產力提供強有力技術支撐。