財(cái)聯(lián)社2月27日訊（編輯 黃君芝）據(jù)報(bào)道，全球光刻機(jī)龍頭阿斯麥（ASML）的一位高管最新表示，其下一代芯片制造設(shè)備已準(zhǔn)備就緒，可以供應(yīng)芯片制造商用于大規(guī)模量產(chǎn)，這對(duì)芯片行業(yè)來(lái)說(shuō)是一個(gè)重大進(jìn)展。

這家荷蘭公司生產(chǎn)著全球唯一的商用極紫外光刻（EUV）設(shè)備，這是芯片制造商不可或缺的關(guān)鍵部件。阿斯麥的數(shù)據(jù)顯示，這款新設(shè)備將幫助臺(tái)積電和英特爾等芯片制造商生產(chǎn)出更強(qiáng)大、更高效的芯片，因?yàn)樗∪チ诵酒圃爝^(guò)程中的一些昂貴且復(fù)雜的步驟。

阿斯麥?zhǔn)紫夹g(shù)官M(fèi)arco Pieters周三表示，該公司計(jì)劃于周四在圣何塞舉行的技術(shù)會(huì)議上公布這一數(shù)據(jù)，這標(biāo)志著一個(gè)重要的里程碑。

據(jù)悉，阿斯麥花了數(shù)年時(shí)間才研發(fā)出這些昂貴的下一代設(shè)備，而芯片制造商們則一直在試圖確定在何種情況下使用這些設(shè)備進(jìn)行大規(guī)模生產(chǎn)才具有經(jīng)濟(jì)意義。

但鑒于當(dāng)前這一代EUV設(shè)備在制造復(fù)雜AI芯片方面已接近技術(shù)極限，下一代設(shè)備（被稱為高數(shù)值孔徑EUV工具）對(duì)于AI行業(yè)至關(guān)重要，可以改進(jìn)OpenAI的ChatGPT等聊天機(jī)器人，并幫助芯片制造商按時(shí)完成其AI芯片研發(fā)線路圖，以滿足不斷增長(zhǎng)的需求。

不過(guò)需要注意的是，新工具造價(jià)約為4億美元，是原EUV機(jī)器造價(jià)的兩倍。

據(jù)Pieters稱，阿斯麥的數(shù)據(jù)顯示，高數(shù)值孔徑EUV的停機(jī)時(shí)間目前已大幅縮短，已生產(chǎn)了50萬(wàn)片餐盤大小的硅晶圓，并且能夠繪制出構(gòu)成芯片電路的足夠精確的圖案。綜合這三項(xiàng)數(shù)據(jù)，表明這些設(shè)備已準(zhǔn)備好投入制造商使用。

“我認(rèn)為現(xiàn)在正處于一個(gè)關(guān)鍵時(shí)刻，需要審視已經(jīng)完成的學(xué)習(xí)周期數(shù)量，”Pieters說(shuō)道，他指的是客戶對(duì)這些機(jī)器進(jìn)行的測(cè)試次數(shù)。

盡管這些機(jī)器在技術(shù)上已經(jīng)成熟，但企業(yè)仍需要兩到三年的時(shí)間進(jìn)行足夠的測(cè)試和開發(fā)，才能將這些技術(shù)整合到生產(chǎn)制造中。

“（芯片制造商）擁有所有必要的知識(shí)來(lái)驗(yàn)證這些工具，”他補(bǔ)充道。

Pieters還表示，這些設(shè)備目前的正常運(yùn)行率約為80%，并計(jì)劃在年底前達(dá)到90%。他指出，阿斯麥計(jì)劃發(fā)布的成像數(shù)據(jù)足以說(shuō)服客戶用單步高數(shù)值孔徑（High-NA）工藝取代老一代設(shè)備的多步加工。這些設(shè)備已加工了50萬(wàn)片晶圓，使公司得以解決許多技術(shù)難題。